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潔凈烘箱|拓途百科


點擊次數(shù):1761 來源網(wǎng)站: 更新時間:2023-05-19
  潔凈烘箱在競爭中打破格局
  近年來,隨著全球半導體市場的不斷擴大和產品多樣化需求的增加,要求半導體芯片的生產工藝更為精細、嚴格。在這個背景下,潔凈烘箱這種先進的生產設備逐漸受到人們的關注和青睞。
  潔凈烘箱是一種用于進行半導體生產中重要步驟的設備,其主要作用是對芯片進行加熱和干燥,以去除其中的水分和雜質。同時還可以控制溫度、濕度等參數(shù),確保半導體生產過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
 
  潔凈烘箱輸出信號控制PLC整個程序的運行,鉑電阻PT100測試信號至報警溫控儀與超溫報警設置溫度值進行比較,當實際溫度值低于設定值時,輸出控制信號給PLC,PLC程序正常運行。
  實際溫度值超過設定值時,輸出控制信號給PLC,PLC關閉運行程序。故超溫報警的設置值一般要高于工作溫度的設定值。閉合空氣開關,按照該烘箱的操作說明書設置好加熱溫度250℃,超溫報警溫度260℃,保溫計時1h后,啟動其自動運行程序,潔凈烘箱的循環(huán)風機、進風機、碟閥、加熱等指示燈按順序亮起,表明程序運行正常。加熱運行2.5h后,烘箱溫度仍然達不到設定值,如果加熱時間過長,就會造成被加熱玻璃容器易碎,壞瓶率升高。
  同時,造成能源浪費,耗電量增加以及烘箱的工作周期加長,致使在正常生產崗位的兩班制下不能按時完成該工藝環(huán)節(jié),殆誤生產任務的進程計劃,且提高了生產成本。正常滿箱時溫度從室溫一直加熱到250℃需要2.5h,1個工作周期需要約6h。首先查看潔凈烘箱差壓表,判斷烘箱內風速是否正常,了解潔凈烘箱內被加熱物品擺放是否過于密集,高溫高效過濾器是否堵塞,風量調節(jié)板是否被改動,排除這些原因后,再判斷設備是否存在故障,造成熱風循環(huán)空氣流通不好,濕熱空氣不能正常排放。
  其次從故障現(xiàn)象和烘箱的電路原理分析,烘箱能夠加熱,說明智能電腦溫控儀輸出信號正常,PLC輸入輸出信號也正常。經(jīng)過上述故障分析,可以斷定控制信號和可調節(jié)部件均正常,然后我們從以下幾個方面進行檢查。首先核對一下潔凈烘箱的PID調節(jié)參數(shù),看是否人為誤操作,致使設置參數(shù)變更,從而使得系統(tǒng)出現(xiàn)動作異常。PID參數(shù)直接影響著系統(tǒng)的調節(jié)精度,是控制系統(tǒng)設計的核心內容。烘箱通過適當?shù)腜ID參數(shù),PID控制可以根據(jù)系統(tǒng)被控過程的誤差特性,利用比例、積分、微分計算出系統(tǒng)控制量,得到相應的輸出響應特性,控制系統(tǒng)使其達到滿意的控制效果?;謴蚉ID參數(shù)正常設置值。
  在傳統(tǒng)的烘箱中,由于無法控制環(huán)境中的微小顆粒和氣體成分,可能會給半導體芯片帶來質量問題。而潔凈烘箱則采用了嚴格的過濾和凈化系統(tǒng),能夠有效地控制周圍環(huán)境中的各種污染物,從而保證芯片的質量和可靠性。
  目前,潔凈烘箱已廣泛應用于半導體制造、電子元器件生產等高精度行業(yè),成為了提高產品質量和生產效率的關鍵設備之一。在半導體領域,各大廠商已經(jīng)開始使用潔凈烘箱進行芯片生產,并不斷改進其技術和性能。
潔凈烘箱
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